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光刻机冷却循环装置常见系统故障

简要描述:元器件高低温测试装置在用于恶劣环境的半导体电子元件的制造中,IC封装组装和工程和生产的测试阶段包括在温度(-85℃至+ 250℃)下的电子冷热测试和其他环境测试模拟。光刻机冷却循环装置常见系统故障

  • 产品型号:AES-4535
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-01-07
  • 访  问  量:1725
详情介绍
品牌LNEYA/无锡冠亚冷却方式风冷式
价格区间5万-10万产地类别国产
仪器种类一体式应用领域化工,电子,航天,制药,汽车

<strong><strong><strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong></strong></strong>

 型号AES-4535
 AES-4535W
AES-6035
 AES-6035W
AES-8035
 AES-8035W
AES-A1035WAES-A1235W
温度范围-45℃~225℃-60℃~225℃-80℃~225℃-100℃~225℃-120℃~225℃
制冷量-45℃2.5kW    
-60℃ 2kW   
-80℃  1.5kW  
-100℃   1.2kW 
-120℃    1.2kW
温控精度±0.5℃±0.5℃±1℃±1℃±1℃
温度转换时间-25℃ to 150℃ 约10S
150℃to  -25℃
约20s
-45℃ to 150℃ 约10S
150℃to  -45℃
约20s
-55℃ to 150℃ 约10S
150℃to  -55℃
约15s
-70℃ to 150℃ 约10S
150℃to  -70℃
约20s
-80℃ to 150℃ 约11S
150℃to  -80℃
约20s
空气要求空气滤清器<5um
空气含油量:<0.1ppm
空气温湿度:5℃~32℃  0~50%RH
空气处理能力7m³/h ~ 25m³/h  压力5bar~7.6bar
系统压力显示制冷系统压力采用指针式压力表实现(高压、低压)
循环系统压力采用压力传感器检测显示在触摸屏上
控制器西门子PLC,模糊PID控制算法
温度控制控制出风口温度
可编程可编制10条程序,每条程序可编制10段步骤
通信协议以太网接口TCP/IP协议
设备内部温度反馈设备出口温度、制冷系统冷凝温度、环境温度、压缩机吸气温度、冷却水温度(水冷设备有)
温度反馈T型温度传感器
压缩机法国泰康/艾默生
蒸发器套管式换热器
加热器法兰式桶状加热器
制冷附件丹佛斯/艾默生配件(干燥过滤器、油分离器、高低压保护器、膨胀阀、电磁阀)
操作面板无锡冠亚定制7英寸彩色触摸屏,温度曲线显示EXCEL 数据导出
安全防护具有自我诊断功能;相序断相保护器、冷冻机过载保护;高压压力开关,过载继电器、热保护装置等多种安全保障功能。
制冷剂冠亚混合制冷剂
外接保温软管方便外送保温软管1.8m DN32快接卡箍
外型尺寸(风)cm54*69*13254*69*13275*73*13380*120*185100*150*185
外型尺寸(水)cm54*69*13254*69*13275*73*13370*100*17580*120*185
风冷型采用铜管铝翅片冷凝方式,冷凝风机采用德国EBM轴流风机
水冷型 W带W型号为水冷型
水冷冷凝器板式换热器(务必确保冷却水清洁)
冷却水量 at 25℃0.6m³/h
G3/8
1.2m³/h
G3/4
1.6m³/h
G1
2.6m³/h
G1
3m³/h
G1
电源 50HZ max3.7kW 220V5kW 220V5kW 220V6.8kW 220V7.5kW 220V
电源可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相
外壳材质冷轧板喷塑 (标准颜色7035)
温度扩展高温到 +300℃

 

 

<strong><strong><strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong></strong></strong><strong><strong><strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong></strong></strong><strong><strong><strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong></strong></strong>

<strong><strong><strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong></strong></strong>

光刻机冷却循环装置常见系统故障

光刻机冷却循环装置常见系统故障

  1、回液:对于使用膨胀阀的制冷系统,回液与膨胀阀选型和使用不当密切相关。膨胀阀选型过大、过热度设定太小、感温包安装方法不正确或绝热包扎破损、膨胀阀失灵都可能造成回液。对于使用毛细管的小制冷系统而言,加液量过大会引起回液。蒸发器结霜严重或风扇故障时传热变差,未蒸发的液体会引起回液。温度频繁波动也会引起膨胀阀反应失灵而引起回液。

  2、带液启动:压缩机内的润滑油剧烈起泡的现象叫带液启动。带液启动时的起泡现象可以在油视镜上清楚地观察到。根本原因是润滑油中溶解的以及沉在润滑油下面了大量的制冷剂,在压力突然降低时突然沸腾,并引起润滑油的起泡现象,很容易引起液击。

  3、排气温度过高:排气温度过高的原因主要有以下几种:回气温度高、电机加热量大、压缩比高、冷凝压力高、制冷剂的绝热指数、制冷剂选择不当。

  4、液击:为了保证压缩机的运转,防止产生液击现象,要求吸气温度比蒸发温度高一点,即应具有一定的过热度。吸气温度正常情况下应比蒸发温度高。

  5、吸气温度高:系统中制冷剂充注量不足,或膨胀阀开启度过小,膨胀阀口滤网堵塞,回气管道隔热不好或管道过长等。

6、排气温度过低:节流阀或者干燥过滤器冰堵或脏堵,以及过滤器堵塞,制冷剂充注量不足。

 

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