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光刻机水冷机组定时保养知识须知

简要描述:元器件高低温测试装置在用于恶劣环境的半导体电子元件的制造中,IC封装组装和工程和生产的测试阶段包括在温度(-85℃至+ 250℃)下的电子冷热测试和其他环境测试模拟。光刻机水冷机组定时保养知识须知

  • 产品型号:AES-4535
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-01-07
  • 访  问  量:1181
详情介绍
品牌LNEYA/无锡冠亚冷却方式风冷式
价格区间5万-10万产地类别国产
仪器种类一体式应用领域化工,电子,航天,制药,汽车

<strong><strong><strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong></strong></strong>

 型号AES-4535
 AES-4535W
AES-6035
 AES-6035W
AES-8035
 AES-8035W
AES-A1035WAES-A1235W
温度范围-45℃~225℃-60℃~225℃-80℃~225℃-100℃~225℃-120℃~225℃
制冷量-45℃2.5kW    
-60℃ 2kW   
-80℃  1.5kW  
-100℃   1.2kW 
-120℃    1.2kW
温控精度±0.5℃±0.5℃±1℃±1℃±1℃
温度转换时间-25℃ to 150℃ 约10S
150℃to  -25℃
约20s
-45℃ to 150℃ 约10S
150℃to  -45℃
约20s
-55℃ to 150℃ 约10S
150℃to  -55℃
约15s
-70℃ to 150℃ 约10S
150℃to  -70℃
约20s
-80℃ to 150℃ 约11S
150℃to  -80℃
约20s
空气要求空气滤清器<5um
空气含油量:<0.1ppm
空气温湿度:5℃~32℃  0~50%RH
空气处理能力7m³/h ~ 25m³/h  压力5bar~7.6bar
系统压力显示制冷系统压力采用指针式压力表实现(高压、低压)
循环系统压力采用压力传感器检测显示在触摸屏上
控制器西门子PLC,模糊PID控制算法
温度控制控制出风口温度
可编程可编制10条程序,每条程序可编制10段步骤
通信协议以太网接口TCP/IP协议
设备内部温度反馈设备出口温度、制冷系统冷凝温度、环境温度、压缩机吸气温度、冷却水温度(水冷设备有)
温度反馈T型温度传感器
压缩机法国泰康/艾默生
蒸发器套管式换热器
加热器法兰式桶状加热器
制冷附件丹佛斯/艾默生配件(干燥过滤器、油分离器、高低压保护器、膨胀阀、电磁阀)
操作面板无锡冠亚定制7英寸彩色触摸屏,温度曲线显示EXCEL 数据导出
安全防护具有自我诊断功能;相序断相保护器、冷冻机过载保护;高压压力开关,过载继电器、热保护装置等多种安全保障功能。
制冷剂冠亚混合制冷剂
外接保温软管方便外送保温软管1.8m DN32快接卡箍
外型尺寸(风)cm54*69*13254*69*13275*73*13380*120*185100*150*185
外型尺寸(水)cm54*69*13254*69*13275*73*13370*100*17580*120*185
风冷型采用铜管铝翅片冷凝方式,冷凝风机采用德国EBM轴流风机
水冷型 W带W型号为水冷型
水冷冷凝器板式换热器(务必确保冷却水清洁)
冷却水量 at 25℃0.6m³/h
G3/8
1.2m³/h
G3/4
1.6m³/h
G1
2.6m³/h
G1
3m³/h
G1
电源 50HZ max3.7kW 220V5kW 220V5kW 220V6.8kW 220V7.5kW 220V
电源可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相
外壳材质冷轧板喷塑 (标准颜色7035)
温度扩展高温到 +300℃

 

 

<strong><strong><strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong></strong></strong><strong><strong><strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong></strong></strong><strong><strong><strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong></strong></strong>

<strong><strong><strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong></strong></strong>

光刻机水冷机组定时保养知识须知

光刻机水冷机组定时保养知识须知

  掌握调整蚀刻机冷却循环装置运行功率的方法,企业运行满足需求的前提下,控制蚀刻机冷却循环装置的运行功率。控制蚀刻机冷却循环装置处于低效率运行状态,能够减少设备消耗的数量。

  一、用电环境要好

  想要降低蚀刻机冷却循环装置电量,需要为蚀刻机冷却循环装置提供优良的用电环境。例如用电环境的电压比较低,蚀刻机冷却循环装置设备为保持稳定的运行效率,必然加大电能的消耗。

  二、设备的运作要提前计划好

  加入要维护蚀刻机冷却循环装置的和系统的稳定,那么要以前做好设备的运作计划,不论什么设备都要有提前的计划,如果没有会使机器满负荷运载,这就会影响到蚀刻机冷却循环装置运行的。

  三、要定期的保养

  对蚀刻机冷却循环装置进行定期的维护可以保证蚀刻机冷却循环装置的寿命的烟瘴,不论是什么设备只要维护好了,那么设备的效能也会相应的会减少的慢。

  四、四周环境的影响

  现在的环境对机器的影响还是比较大的,好的环境会提供机器的效能,相反则会降低机器的效能,所以好的环境对机器是有一定的影响的。

  五、冷凝器的温度

  冷凝温度的降低会是冷却效果更好,因为在开始使用的时候,冷却塔时会有一定的裕量,所以需要加大原有的冷却塔水,让冷却水的效能更好。

  六、配置可调节线圈

蚀刻机冷却循环装置在运行的时候,如果运行时间较长,能源消耗非常多。可以为蚀刻机冷却循环装置安装调节线圈,根据环境温度调整适合的运行功率。

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