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顶层介质刻蚀(chamber wall)单通道chiller

简要描述:【无锡冠亚】半导体控温解决方案主要产品包括半导体专⽤温控设备、射流式⾼低温冲击测试机和半导体⽤⼯艺废⽓处理装置等⽤设备,⼴泛应⽤于半导体、LED、LCD、太阳能光伏等领域。顶层介质刻蚀(chamber wall)单通道chiller

  • 产品型号:LTS-202
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-01-11
  • 访  问  量:144
详情介绍
品牌冠亚制冷冷却方式水冷式
价格区间10万-50万产地类别国产
仪器种类一体式应用领域化工,生物产业,电子,制药,汽车



无锡冠亚恒温制冷技术有限公司的半导体控温解决方案

主要产品包括半导体专⽤温控设备、射流式⾼低温冲击测试机和半导体⽤⼯艺废⽓处理装置等⽤设备,

⼴泛应⽤于半导体、LED、LCD、太阳能光伏等领域。




【 冠亚制冷 】半导体行业主营控温产品:

半导体专温控设备

射流式⾼低温冲击测试机

半导体专用温控设备chiller

Chiller气体降温控温系统

Chiller直冷型

循环风控温装置

半导体⾼低温测试设备

电⼦设备⾼温低温恒温测试冷热源

射流式高低温冲击测试机

快速温变控温卡盘

数据中心液冷解决方案


型号FLT-002FLT-003FLT-004FLT-006FLT-008FLT-010FLT-015
FLT-002WFLT-003WFLT-004WFLT-006WFLT-008WFLT-010WFLT-015W
温度范围5℃~40℃
控温精度±0.1℃
流量控制  10~25L/min  5bar max15~45L/min  6bar max25~75L/min  6bar max
制冷量at10℃6kw8kw10kw15 kw20kw25kw40kw
内循环液容积4L5L6L8L10L12L20L
膨胀罐容积10L10L15L15L20L25L35L
制冷剂R410A
载冷剂硅油、氟化液、乙二醇水溶液、DI等  (DI温度需要控制10℃以上)
进出接口ZG1/2ZG1/2ZG3/4ZG3/4ZG3/4ZG1ZG1
冷却水口ZG1/2ZG1/2ZG3/4ZG1ZG1ZG1ZG1 1/8
冷却水流量at20℃1.5m³/h2m³/h2.5m³/h4m³/h4.5m³/h5.6m³/h9m³/h
电源380V3.5kW4kW5.5kW7kW9.5kW12kW16kW
温度扩展通过增加电加热器,扩展-25℃~80℃





顶层介质刻蚀(chamber wall)单通道chiller

顶层介质刻蚀(chamber wall)单通道chiller


  为了确保侧墙刻蚀单通道chiller的正常运行和使用寿命,定期维护和保养是不可少的。这包括检查冷凝器、散热器和管道是否有堵塞或泄漏,检查泵和压缩机的运行状况,以及更换过滤器等易损件。此外,定期清洗设备内部和外部,确保设备清洁也是保养的重要内容。

  4、防止过载和短路

  侧墙刻蚀单通道chiller在运行过程中,如果电流过大或负载过重,可能会导致设备过载或短路。因此,在使用过程中,要注意避免过度加载设备,同时也要避免设备受到电击或短路的影响。如果发现设备有异常情况,要及时停机检查并修复。

  5、注意安全操作

  侧墙刻蚀单通道chiller在操作过程中要注意安全。要确保设备的接地良好,避免触电风险。其次,在操作过程中要佩戴相应的防护用具,如手套、眼镜等。此外,对于不熟悉设备操作的人员,要进行培训和学习,确保掌握正确的操作方法。

为了确保其正常运行和使用寿命,需要注意保持侧墙刻蚀单通道chiller清洁、正确使用和操作、定期维护和保养、防止过载和短路以及注意安全操作等方面的事项。



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