品牌 | 冠亚制冷 | 冷却方式 | 水冷式 |
---|---|---|---|
价格区间 | 10万-50万 | 产地类别 | 国产 |
仪器种类 | 一体式 | 应用领域 | 化工,生物产业,电子,制药,汽车 |
主要产品包括半导体专⽤温控设备、射流式⾼低温冲击测试机和半导体⽤⼯艺废⽓处理装置等⽤设备,
⼴泛应⽤于半导体、LED、LCD、太阳能光伏等领域。
半导体专温控设备
射流式⾼低温冲击测试机
半导体专用温控设备chiller
Chiller气体降温控温系统
Chiller直冷型
循环风控温装置
半导体⾼低温测试设备
电⼦设备⾼温低温恒温测试冷热源
射流式高低温冲击测试机
快速温变控温卡盘
数据中心液冷解决方案
型号 | FLT-002 | FLT-003 | FLT-004 | FLT-006 | FLT-008 | FLT-010 | FLT-015 |
FLT-002W | FLT-003W | FLT-004W | FLT-006W | FLT-008W | FLT-010W | FLT-015W | |
温度范围 | 5℃~40℃ | ||||||
控温精度 | ±0.1℃ | ||||||
流量控制 | 10~25L/min 5bar max | 15~45L/min 6bar max | 25~75L/min 6bar max | ||||
制冷量at10℃ | 6kw | 8kw | 10kw | 15 kw | 20kw | 25kw | 40kw |
内循环液容积 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
膨胀罐容积 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
制冷剂 | R410A | ||||||
载冷剂 | 硅油、氟化液、乙二醇水溶液、DI等 (DI温度需要控制10℃以上) | ||||||
进出接口 | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
冷却水口 | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
冷却水流量at20℃ | 1.5m³/h | 2m³/h | 2.5m³/h | 4m³/h | 4.5m³/h | 5.6m³/h | 9m³/h |
电源380V | 3.5kW | 4kW | 5.5kW | 7kW | 9.5kW | 12kW | 16kW |
温度扩展 | 通过增加电加热器,扩展-25℃~80℃ |
半导体集成电路Chiller 元器件测试用设备
半导体集成电路Chiller 元器件测试用设备
在半导体制造过程中,冠亚制冷的冷却设备chiller的作用大家有目共睹。本文将介绍介质刻蚀双通道chiller调试过程中的注意事项。
一、准备工作
在进行介质刻蚀双通道chiller调试之前,先要确保所有准备工作已经完成。这包括:
1、确认介质刻蚀双通道chiller安装正确:检查设备的安装位置、管道连接等是否符合设计要求。
2、电源连接:确保电源连接稳定,并按照介质刻蚀双通道chiller规格书的要求设置电源参数。
3、阀门和仪表校准:检查所有的阀门和仪表是否已经校准,确保测量准确。
二、调试过程
1、启动顺序:按照介质刻蚀双通道chiller手册的启动顺序进行启动,确保每个步骤都正确无误。
2、参数设置:根据介质刻蚀双通道chiller规格书的要求,设置合适的参数,如冷却水流量、温度等。
3、运行测试:在介质刻蚀双通道chiller运行过程中,密切关注各项参数的变化,确保介质刻蚀双通道chiller正常运行。
4、故障排查:如果介质刻蚀双通道chiller出现故障,根据故障现象进行排查,找出故障原因并进行修复。