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半导体集成电路Chiller 元器件测试用设备

简要描述:【无锡冠亚】半导体控温解决方案主要产品包括半导体专⽤温控设备、射流式⾼低温冲击测试机和半导体⽤⼯艺废⽓处理装置等⽤设备,⼴泛应⽤于半导体、LED、LCD、太阳能光伏等领域。半导体集成电路Chiller 元器件测试用设备

  • 产品型号:LTS-202
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-01-11
  • 访  问  量:153
详情介绍
品牌冠亚制冷冷却方式水冷式
价格区间10万-50万产地类别国产
仪器种类一体式应用领域化工,生物产业,电子,制药,汽车



无锡冠亚恒温制冷技术有限公司的半导体控温解决方案

主要产品包括半导体专⽤温控设备、射流式⾼低温冲击测试机和半导体⽤⼯艺废⽓处理装置等⽤设备,

⼴泛应⽤于半导体、LED、LCD、太阳能光伏等领域。




【 冠亚制冷 】半导体行业主营控温产品:

半导体专温控设备

射流式⾼低温冲击测试机

半导体专用温控设备chiller

Chiller气体降温控温系统

Chiller直冷型

循环风控温装置

半导体⾼低温测试设备

电⼦设备⾼温低温恒温测试冷热源

射流式高低温冲击测试机

快速温变控温卡盘

数据中心液冷解决方案


型号FLT-002FLT-003FLT-004FLT-006FLT-008FLT-010FLT-015
FLT-002WFLT-003WFLT-004WFLT-006WFLT-008WFLT-010WFLT-015W
温度范围5℃~40℃
控温精度±0.1℃
流量控制  10~25L/min  5bar max15~45L/min  6bar max25~75L/min  6bar max
制冷量at10℃6kw8kw10kw15 kw20kw25kw40kw
内循环液容积4L5L6L8L10L12L20L
膨胀罐容积10L10L15L15L20L25L35L
制冷剂R410A
载冷剂硅油、氟化液、乙二醇水溶液、DI等  (DI温度需要控制10℃以上)
进出接口ZG1/2ZG1/2ZG3/4ZG3/4ZG3/4ZG1ZG1
冷却水口ZG1/2ZG1/2ZG3/4ZG1ZG1ZG1ZG1 1/8
冷却水流量at20℃1.5m³/h2m³/h2.5m³/h4m³/h4.5m³/h5.6m³/h9m³/h
电源380V3.5kW4kW5.5kW7kW9.5kW12kW16kW
温度扩展通过增加电加热器,扩展-25℃~80℃





半导体集成电路Chiller 元器件测试用设备

半导体集成电路Chiller 元器件测试用设备


  在半导体制造过程中,冠亚制冷的冷却设备chiller的作用大家有目共睹。本文将介绍介质刻蚀双通道chiller调试过程中的注意事项。

  一、准备工作

  在进行介质刻蚀双通道chiller调试之前,先要确保所有准备工作已经完成。这包括:

  1、确认介质刻蚀双通道chiller安装正确:检查设备的安装位置、管道连接等是否符合设计要求。

  2、电源连接:确保电源连接稳定,并按照介质刻蚀双通道chiller规格书的要求设置电源参数。

  3、阀门和仪表校准:检查所有的阀门和仪表是否已经校准,确保测量准确。

  二、调试过程

  1、启动顺序:按照介质刻蚀双通道chiller手册的启动顺序进行启动,确保每个步骤都正确无误。

  2、参数设置:根据介质刻蚀双通道chiller规格书的要求,设置合适的参数,如冷却水流量、温度等。

  3、运行测试:在介质刻蚀双通道chiller运行过程中,密切关注各项参数的变化,确保介质刻蚀双通道chiller正常运行。

  4、故障排查:如果介质刻蚀双通道chiller出现故障,根据故障现象进行排查,找出故障原因并进行修复。


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