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| 品牌 | LNEYA/无锡冠亚 | 冷却方式 | 风冷式 |
|---|---|---|---|
| 价格区间 | 5万-10万 | 产地类别 | 国产 |
| 仪器种类 | 一体式 | 应用领域 | 化工,电子,航天,制药,汽车 |
| 型号 | AES-4535 AES-4535W | AES-6035 AES-6035W | AES-8035 AES-8035W | AES-A1035W | AES-A1235W | |
| 温度范围 | -45℃～225℃ | -60℃～225℃ | -80℃～225℃ | -100℃～225℃ | -120℃～225℃ | |
| 制冷量 | -45℃ | 2.5kW | ||||
| -60℃ | 2kW | |||||
| -80℃ | 1.5kW | |||||
| -100℃ | 1.2kW | |||||
| -120℃ | 1.2kW | |||||
| 温控精度 | ±0.5℃ | ±0.5℃ | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | |
| 温度转换时间 | -25℃ to 150℃ 约10S 150℃to -25℃ 约20s | -45℃ to 150℃ 约10S 150℃to -45℃ 约20s | -55℃ to 150℃ 约10S 150℃to -55℃ 约15s | -70℃ to 150℃ 约10S 150℃to -70℃ 约20s | -80℃ to 150℃ 约11S 150℃to -80℃ 约20s | |
| 空气要求 | 空气滤清器<5um 空气含油量:<0.1ppm 空气温湿度：5℃～32℃ 0～50%RH | |||||
| 空气处理能力 | 7m³/h ～ 25m³/h 压力5bar～7.6bar | |||||
| 系统压力显示 | 制冷系统压力采用指针式压力表实现（高压、低压） 循环系统压力采用压力传感器检测显示在触摸屏上 | |||||
| 控制器 | 西门子PLC，模糊PID控制算法 | |||||
| 温度控制 | 控制出风口温度 | |||||
| 可编程 | 可编制10条程序，每条程序可编制10段步骤 | |||||
| 通信协议 | 以太网接口TCP/IP协议 | |||||
| 设备内部温度反馈 | 设备出口温度、制冷系统冷凝温度、环境温度、压缩机吸气温度、冷却水温度（水冷设备有） | |||||
| 温度反馈 | T型温度传感器 | |||||
| 压缩机 | 法国泰康/艾默生 | |||||
| 蒸发器 | 套管式换热器 | |||||
| 加热器 | 法兰式桶状加热器 | |||||
| 制冷附件 | 丹佛斯/艾默生配件（干燥过滤器、油分离器、高低压保护器、膨胀阀、电磁阀） | |||||
| 操作面板 | 无锡冠亚定制7英寸彩色触摸屏，温度曲线显示EXCEL 数据导出 | |||||
| 安全防护 | 具有自我诊断功能；相序断相保护器、冷冻机过载保护；高压压力开关，过载继电器、热保护装置等多种安全保障功能。 | |||||
| 制冷剂 | 冠亚混合制冷剂 | |||||
| 外接保温软管 | 方便外送保温软管1.8m DN32快接卡箍 | |||||
| 外型尺寸（风）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 80*120*185 | 100*150*185 | |
| 外型尺寸（水）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 70*100*175 | 80*120*185 | |
| 风冷型 | 采用铜管铝翅片冷凝方式，冷凝风机采用德国EBM轴流风机 | |||||
| 水冷型 W | 带W型号为水冷型 | |||||
| 水冷冷凝器 | 板式换热器（务必确保冷却水清洁） | |||||
| 冷却水量 at 25℃ | 0.6m³/h G3/8 | 1.2m³/h G3/4 | 1.6m³/h G1 | 2.6m³/h G1 | 3m³/h G1 | |
| 电源 50HZ max | 3.7kW 220V | 5kW 220V | 5kW 220V | 6.8kW 220V | 7.5kW 220V | |
| 电源 | 可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相 | |||||
| 外壳材质 | 冷轧板喷塑 （标准颜色7035） | |||||
| 温度扩展 | 高温到 +300℃ | |||||
光刻机快速冷却制冷机常见问题
光刻机快速冷却制冷机常见问题
光刻机快速冷却制冷机已广泛用于工业领域，而光刻机快速冷却制冷机的常见问题主要是因为蒸发温度（蒸发器中制冷剂的饱和温度）通常在-85℃至在85℃时，常规方法不能使用水作为制冷剂，因为制冷剂的温度低于0℃，并且用于制冷剂热交换的水的温度很可能低于0℃。由于冻结，须在常规单元的制冷剂溶液中添加防冻剂以降低诸如乙二醇溶液之类的制冷剂溶液的凝固点。
但是，该方法存在许多问题：首先，使用和操作成本增加，并且乙二醇溶液易挥发。使用一段时间后，由于挥发浓度不够，难以将水温降低到使用所需的温度，或者制冷剂溶液的挥发浓度降低，凝固点增加，并且结冰。在使用所需的温度下发生，导致蒸发器的热交换管冻结并破裂，从而导致故障；
其次，不允许某些用户在制冷剂中添加防冻剂（例如乙二醇），例如：芯片工业，由于这些行业的使用量很高，一旦光刻机快速冷却制冷机制冷剂溶液渗透并泄漏到中，就会影响使用靠谱性，因此将被直接丢弃，从而导致废品率提高，产量减少等问题。
