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光刻机制冷机组靠谱操作规范及注意事项

简要描述:元器件高低温测试装置在用于恶劣环境的半导体电子元件的制造中,IC封装组装和工程和生产的测试阶段包括在温度(-85℃至+ 250℃)下的电子冷热测试和其他环境测试模拟。光刻机制冷机组靠谱操作规范及注意事项

  • 产品型号:AES-4535
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-01-07
  • 访  问  量:2253
详情介绍
品牌LNEYA/无锡冠亚冷却方式风冷式
价格区间5万-10万产地类别国产
仪器种类一体式应用领域化工,电子,航天,制药,汽车

<strong><strong><strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong></strong></strong>

 型号AES-4535
 AES-4535W
AES-6035
 AES-6035W
AES-8035
 AES-8035W
AES-A1035WAES-A1235W
温度范围-45℃~225℃-60℃~225℃-80℃~225℃-100℃~225℃-120℃~225℃
制冷量-45℃2.5kW    
-60℃ 2kW   
-80℃  1.5kW  
-100℃   1.2kW 
-120℃    1.2kW
温控精度±0.5℃±0.5℃±1℃±1℃±1℃
温度转换时间-25℃ to 150℃ 约10S
150℃to  -25℃
约20s
-45℃ to 150℃ 约10S
150℃to  -45℃
约20s
-55℃ to 150℃ 约10S
150℃to  -55℃
约15s
-70℃ to 150℃ 约10S
150℃to  -70℃
约20s
-80℃ to 150℃ 约11S
150℃to  -80℃
约20s
空气要求空气滤清器<5um
空气含油量:<0.1ppm
空气温湿度:5℃~32℃  0~50%RH
空气处理能力7m³/h ~ 25m³/h  压力5bar~7.6bar
系统压力显示制冷系统压力采用指针式压力表实现(高压、低压)
循环系统压力采用压力传感器检测显示在触摸屏上
控制器西门子PLC,模糊PID控制算法
温度控制控制出风口温度
可编程可编制10条程序,每条程序可编制10段步骤
通信协议以太网接口TCP/IP协议
设备内部温度反馈设备出口温度、制冷系统冷凝温度、环境温度、压缩机吸气温度、冷却水温度(水冷设备有)
温度反馈T型温度传感器
压缩机法国泰康/艾默生
蒸发器套管式换热器
加热器法兰式桶状加热器
制冷附件丹佛斯/艾默生配件(干燥过滤器、油分离器、高低压保护器、膨胀阀、电磁阀)
操作面板无锡冠亚定制7英寸彩色触摸屏,温度曲线显示EXCEL 数据导出
安全防护具有自我诊断功能;相序断相保护器、冷冻机过载保护;高压压力开关,过载继电器、热保护装置等多种安全保障功能。
制冷剂冠亚混合制冷剂
外接保温软管方便外送保温软管1.8m DN32快接卡箍
外型尺寸(风)cm54*69*13254*69*13275*73*13380*120*185100*150*185
外型尺寸(水)cm54*69*13254*69*13275*73*13370*100*17580*120*185
风冷型采用铜管铝翅片冷凝方式,冷凝风机采用德国EBM轴流风机
水冷型 W带W型号为水冷型
水冷冷凝器板式换热器(务必确保冷却水清洁)
冷却水量 at 25℃0.6m³/h
G3/8
1.2m³/h
G3/4
1.6m³/h
G1
2.6m³/h
G1
3m³/h
G1
电源 50HZ max3.7kW 220V5kW 220V5kW 220V6.8kW 220V7.5kW 220V
电源可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相
外壳材质冷轧板喷塑 (标准颜色7035)
温度扩展高温到 +300℃

 

 

<strong><strong><strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong></strong></strong><strong><strong><strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong></strong></strong><strong><strong><strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong></strong></strong>

<strong><strong><strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong></strong></strong>

光刻机制冷机组靠谱操作规范及注意事项

光刻机制冷机组靠谱操作规范及注意事项

  光刻机制冷机组这是可以提供恒定温度,电流和压力的冷却水设备使用时,应注意以下事项。

  1.在安装过程中,请检查机器是否损坏,并选择合适的位置进行安装和以后的维护。

  2.设备的安装地点是地板,安装垫或地基,且水平度应在范围之内,并且能够承受设备的工作重量。

  3.单元应放置在室温下,单元周围和上方应有足够的空间进行日常维护。

  4.在单元的一端,应保留用于清洁冷凝器管束的抽气空间,也可以使用门的开口或其他位置合适的孔。

  5.当设备以大功率运行时,选择具有适当管径的水管,冷却系统和冷水系统,并正确连接它们。

  6.对于普通应用,通过蒸发器和冷凝器的水流速应在范围之间。

  7.在负载下,水流均应保持稳定。

  8.所有冷冻水和冷却水管应按照常规方法进行设计和安装。冷冻水泵应位于设备的进水管上,以确保设备中的正压和流量。配管时,应设置减震管,以确保适当的弹性,并在水泵停止时防止蒸发器的水排出。

  9.应独立于组光刻机制冷机组牢固地支撑管道,以避免对组光刻机制冷机组的组件施加压力。吊架的位置应便于管道对齐。

  10.为了减少噪音和振动,好在管道上安装振动隔离器。

  11.为了经济有效地使用第光刻机制冷机组组,建议请水处理专家分析蒸发器和冷凝器的水质。水质差会导致结垢,影响传热,产生腐蚀沉淀,滋生有机物,影响装置的性能并增加运行和维护成本。

  12.一般来说,正确的水处理和定期清洁管束可以保持其良好性能。如果不能通过适当的方法改善现有的水质状况,则使管束具有较大的结垢系数或使用特殊的结构材料。

在操作光刻机制冷机组时,请注意上述事项,这一定会使您受益。

 

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