




| 品牌 | 冠亚恒温 | 冷却方式 | 水冷式 |
|---|---|---|---|
| 价格区间 | 10万-50万 | 产地类别 | 国产 |
| 仪器种类 | 一体式 | 应用领域 | 化工,电子/电池,航空航天,汽车及零部件,电气 |


| 卡盘定制系统 | |||||||
| 卡盘类型 | GY-CP-8HCV | GY-CP-12HCV | GY-CP-SQ3434HCV | ||||
| 配套Chiller | GY-PCH-803 GY-PCH-803W | GY-PCH-805 GY-PCH-805W | GY-PCH-803 GY-PCH-803W | GY-PCH-805 GY-PCH-805W | GY-PCH-8010 GY-PCH-8010W | GY-PCH-8010 GY-PCH-8010W | |
| 温度范围 | -45℃-200℃ | -55℃-200℃ | -45℃-200℃ | -55℃-200℃ | -65℃-200℃ | -65℃-200℃ | |
| Chiller电源 | 380 VAC ± 10%,三相(可定制) | ||||||
| Chiller总功率 | 8.5kW | 12.5kW | 8.5kW | 12.5kW | 27.5kW | 27.5kW | |
| 配套控温模组 | DX-CHUCK-3 | ||||||
| 温度均匀性 | 土0.5℃ | ||||||
| Chuck加热能力 | 1.5KW@DC48V | 2.5KW@DC120V | 3KW@DC48V | ||||
| Chuck表面处理 | 镀镍/镀金 | ||||||
| 控温方式 | 内置多个温度传感器,多区控温,精确PID调节控温 | ||||||
| 如有其他需求,可非标定制 | |||||||

快速温变控温卡盘Chuck是半导体测试与精密制造领域的温控设备,无锡冠亚恒温作为专业厂家,提供的产品集晶圆固定与快速温度控制于一体,适用于8/12英寸晶圆及各类芯片的变温测试场景。
该设备通过真空吸附或静电吸附技术牢固固定工件,内置高精度加热/制冷单元与多区温度传感器,配合闭环PID控制技术,实现从低温到高温的连续准确控温。无需液氮等耗材,自带冷热控制单元,避免气体消耗,降低使用成本。
· 温度范围:-65℃~+200℃
· 控温精度:温度均匀性达±0.5℃,杜绝温度漂移
· 适配性:支持直冷、液冷、气冷多种方式,表面可选镀镍/镀金处理
广泛应用于RF器件测试、高密度功率器件测试、车规级芯片老化测试、AI芯片晶圆测试及实验室平板快速冷却等场景,帮助用户评估芯片在不同温度条件下的性能与稳定性。快速温变控温卡盘Chuck-半导体控温冷却机
快速温变控温卡盘Chuck-半导体控温冷却机提供非标定制服务,支持方形冷板等特殊规格,配备PLC控制器与7寸显示界面,可实时记录温度数据,为半导体、新能源、制药化工等行业提供稳定可靠的温控解决方案。
