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| 品牌 | 冠亚恒温 | 冷却方式 | 水冷式 |
|---|---|---|---|
| 价格区间 | 10万-50万 | 产地类别 | 国产 |
| 仪器种类 | 一体式 | 应用领域 | 化工,电子/电池,航空航天,汽车及零部件,电气 |
| 卡盘定制系统 | |||||||
| 卡盘类型 | GY-CP-8HCV | GY-CP-12HCV | GY-CP-SQ3434HCV | ||||
| 配套Chiller | GY-PCH-803 GY-PCH-803W | GY-PCH-805 GY-PCH-805W | GY-PCH-803 GY-PCH-803W | GY-PCH-805 GY-PCH-805W | GY-PCH-8010 GY-PCH-8010W | GY-PCH-8010 GY-PCH-8010W | |
| 温度范围 | -45℃-200℃ | -55℃-200℃ | -45℃-200℃ | -55℃-200℃ | -65℃-200℃ | -65℃-200℃ | |
| Chiller电源 | 380 VAC ± 10%，三相(可定制) | ||||||
| Chiller总功率 | 8.5kW | 12.5kW | 8.5kW | 12.5kW | 27.5kW | 27.5kW | |
| 配套控温模组 | DX-CHUCK-3 | ||||||
| 温度均匀性 | 土0.5℃ | ||||||
| Chuck加热能力 | 1.5KW@DC48V | 2.5KW@DC120V | 3KW@DC48V | ||||
| Chuck表面处理 | 镀镍/镀金 | ||||||
| 控温方式 | 内置多个温度传感器，多区控温，精确PID调节控温 | ||||||
| 如有其他需求，可非标定制 | |||||||
高低温卡盘系统是一种集成温控、真空吸附与精密承载功能的半导体测试设备，主要用于晶圆、芯片、MEMS器件等试样的全温域电性测试与可靠性评估，是探针台的关键配套组件。无锡冠亚恒温作为专业厂家，提供适配半导体、光电、射频等领域的定制化高低温卡盘解决方案。高低温卡盘系统-探针台精密控温chiller
1. 准确温控：集成加热/制冷单元与高精度传感器，支持-65℃~+200℃宽温域（可定制扩展），控温精度达±0.1℃，实现多区均匀控温
2. 真空吸附：优化式真空结构确保样品平整固定，吸附力均匀稳定，避免接触不良导致的热阻误差与样品损伤
3. 闭环控制：采用自主研发算法，实时采集温度数据并动态调节，影响测试过程中温度漂移，保障数据一致性
· 半导体晶圆制造与封装测试的变温电学参数分析
· 功率器件建模、可靠性评估与老化测试
· 射频器件、MEMS传感器等精密元件的高低温循环测试
· 光电产品变温性能检测
· 支持直冷、液冷、气冷多种温控方式，适配不同测试需求
· 提供8寸、12寸及非标方形卡盘定制
· 全密闭系统设计，延长导热介质寿命，降低维护成本
· 设置安全报警机制，保障操作安全
无锡冠亚恒温专注温控领域十余年，为客户提供从设备选型到售后维护的全流程服务，助力半导体行业提升测试效率与数据准确性。高低温卡盘系统-探针台精密控温chiller
