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| 品牌 | 冠亚恒温 | 冷却方式 | 水冷式 |
|---|---|---|---|
| 价格区间 | 10万-50万 | 产地类别 | 国产 |
| 仪器种类 | 一体式 | 应用领域 | 化工,电子/电池,航空航天,汽车及零部件,电气 |
| 卡盘定制系统 | |||||||
| 卡盘类型 | GY-CP-8HCV | GY-CP-12HCV | GY-CP-SQ3434HCV | ||||
| 配套Chiller | GY-PCH-803 GY-PCH-803W | GY-PCH-805 GY-PCH-805W | GY-PCH-803 GY-PCH-803W | GY-PCH-805 GY-PCH-805W | GY-PCH-8010 GY-PCH-8010W | GY-PCH-8010 GY-PCH-8010W | |
| 温度范围 | -45℃-200℃ | -55℃-200℃ | -45℃-200℃ | -55℃-200℃ | -65℃-200℃ | -65℃-200℃ | |
| Chiller电源 | 380 VAC ± 10%，三相(可定制) | ||||||
| Chiller总功率 | 8.5kW | 12.5kW | 8.5kW | 12.5kW | 27.5kW | 27.5kW | |
| 配套控温模组 | DX-CHUCK-3 | ||||||
| 温度均匀性 | 土0.5℃ | ||||||
| Chuck加热能力 | 1.5KW@DC48V | 2.5KW@DC120V | 3KW@DC48V | ||||
| Chuck表面处理 | 镀镍/镀金 | ||||||
| 控温方式 | 内置多个温度传感器，多区控温，精确PID调节控温 | ||||||
| 如有其他需求，可非标定制 | |||||||
气冷型高低温卡盘系统是无锡冠亚恒温推出的一款精密温控设备，主要应用于半导体、电子等行业的晶圆及器件测试场景，通过空气制冷与电加热结合的方式，实现对被测工件的准确温度控制与真空吸附定位。气冷型高低温卡盘系统-电子精密控温chiller
该系统作为探针台配套部件，具备以下特点：
· 采用空气制冷技术，无需液体冷媒或帕尔贴元件，运行安静且维护便捷，规避泄漏风险
· 温度控制范围覆盖-65℃~+200℃（可定制），满足各类变温测试需求
· 内置多区温度传感器，支持高精度FID调节控温，确保温度均匀性与稳定性
· 提供8寸、12寸标准卡盘及非标定制，适配不同尺寸晶圆与测试需求
· 兼容真空吸附功能，保障测试过程中工件定位准确，提升数据一致性
广泛应用于半导体晶圆变温电学测试、功率器件建模、可靠性评估、射频变温测试等领域，尤其适合低噪音、高绝缘性要求的测试环境。无锡冠亚恒温凭借多年温控技术积累，该系统可与探针台、ATE自动测试设备无缝集成，为用户提供稳定可靠的温控解决方案，助力提升测试效率与数据准确性。气冷型高低温卡盘系统-电子精密控温chiller
