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| 品牌 | 冠亚恒温 | 冷却方式 | 水冷式 |
|---|---|---|---|
| 价格区间 | 10万-50万 | 产地类别 | 国产 |
| 仪器种类 | 一体式 | 应用领域 | 化工,电子/电池,航空航天,汽车及零部件,电气 |
| 卡盘定制系统 | |||||||
| 卡盘类型 | GY-CP-8HCV | GY-CP-12HCV | GY-CP-SQ3434HCV | ||||
| 配套Chiller | GY-PCH-803 GY-PCH-803W | GY-PCH-805 GY-PCH-805W | GY-PCH-803 GY-PCH-803W | GY-PCH-805 GY-PCH-805W | GY-PCH-8010 GY-PCH-8010W | GY-PCH-8010 GY-PCH-8010W | |
| 温度范围 | -45℃-200℃ | -55℃-200℃ | -45℃-200℃ | -55℃-200℃ | -65℃-200℃ | -65℃-200℃ | |
| Chiller电源 | 380 VAC ± 10%，三相(可定制) | ||||||
| Chiller总功率 | 8.5kW | 12.5kW | 8.5kW | 12.5kW | 27.5kW | 27.5kW | |
| 配套控温模组 | DX-CHUCK-3 | ||||||
| 温度均匀性 | 土0.5℃ | ||||||
| Chuck加热能力 | 1.5KW@DC48V | 2.5KW@DC120V | 3KW@DC48V | ||||
| Chuck表面处理 | 镀镍/镀金 | ||||||
| 控温方式 | 内置多个温度传感器，多区控温，精确PID调节控温 | ||||||
| 如有其他需求，可非标定制 | |||||||
三温Chuck探针台卡盘是半导体测试领域的温控承载设备，主要用于探针台系统中固定晶圆并提供低温、常温、高温三段式准确温度控制，适配半导体芯片三温测试需求，是保障芯片性能评估准确性的关键部件。
该设备通过真空吸附技术稳固固定晶圆，搭载独立温控模块实现三个温区的分区调控，配合高精度温度传感器与闭环控制技术，可准确模拟芯片实际工作温度环境。无锡冠亚恒温控温范围达-65℃～200℃，控温精度±0.5℃，温场均匀性良好，确保晶圆表面温差小，避免测试数据失真。
广泛应用于8/12英寸晶圆电学测试、车规级芯片可靠性评估、功率器件建模测试等场景。无锡冠亚恒温产品具备以下特点：
1. 分区温控设计，支持多温区协同工作，适配复杂测试需求
2. 优化式真空吸附结构，吸附力均匀稳定，避免晶圆损伤
3. 兼容多种规格晶圆，无需更换配件即可快速切换测试需求
4. 运行数据可记录导出，便于测试过程追溯与分析
作为专业三温Chuck探针台卡盘厂家，无锡冠亚恒温凭借成熟温控技术，为半导体测试提供稳定可靠的温度控制解决方案，助力提升芯片测试效率与数据准确性。
