




| 品牌 | 冠亚恒温 | 冷却方式 | 水冷式 |
|---|---|---|---|
| 价格区间 | 10万-50万 | 产地类别 | 国产 |
| 仪器种类 | 一体式 | 应用领域 | 化工,电子/电池,航空航天,汽车及零部件,电气 |


| 卡盘定制系统 | |||||||
| 卡盘类型 | GY-CP-8HCV | GY-CP-12HCV | GY-CP-SQ3434HCV | ||||
| 配套Chiller | GY-PCH-803 GY-PCH-803W | GY-PCH-805 GY-PCH-805W | GY-PCH-803 GY-PCH-803W | GY-PCH-805 GY-PCH-805W | GY-PCH-8010 GY-PCH-8010W | GY-PCH-8010 GY-PCH-8010W | |
| 温度范围 | -45℃-200℃ | -55℃-200℃ | -45℃-200℃ | -55℃-200℃ | -65℃-200℃ | -65℃-200℃ | |
| Chiller电源 | 380 VAC ± 10%,三相(可定制) | ||||||
| Chiller总功率 | 8.5kW | 12.5kW | 8.5kW | 12.5kW | 27.5kW | 27.5kW | |
| 配套控温模组 | DX-CHUCK-3 | ||||||
| 温度均匀性 | 土0.5℃ | ||||||
| Chuck加热能力 | 1.5KW@DC48V | 2.5KW@DC120V | 3KW@DC48V | ||||
| Chuck表面处理 | 镀镍/镀金 | ||||||
| 控温方式 | 内置多个温度传感器,多区控温,精确PID调节控温 | ||||||
| 如有其他需求,可非标定制 | |||||||

气冷常高温Chuck(气冷式常温高温卡盘)是半导体测试与微电子制造领域的温控固定设备,主要用于晶圆、芯片等微电子器件在测试或工艺过程中的准确定位与温度控制,通过真空吸附或静电吸附技术固定工件,同时采用纯空气制冷/加热方式实现宽温域准确控温。气冷常高温Chuck-探针台三温卡盘冷却机
无锡冠亚恒温气冷常高温Chuck具备以下特点:
· 宽温域覆盖:支持常温至200℃(可定制更高温度)连续控温,适配多种测试场景
· 纯气冷设计:无需液体介质,避免污染与泄漏风险,维护便捷
· 高精度控温:控温精度可达±0.5℃,温度均匀性好,保障测试数据稳定
· 多尺寸适配:提供8寸、12寸标准卡盘及非标定制,兼容晶圆规格
· 智能控制:搭载PID智能控温算法,支持多区控温与远程监控
广泛应用于半导体器件变温电学性能测试、功率器件建模、晶圆可靠性评估、车规级芯片老化测试、射频变温测试等领域,特别适用于对洁净度要求高、不适合液体接触的测试环境。
作为专业温控设备厂家,冠亚恒温气冷常高温Chuck采用高品质材料与精密制造工艺,具备结构紧凑、能耗低、稳定性强等特点,提供完整的售前技术咨询与售后维护服务,可根据客户需求定制专属解决方案。
若需了解更多产品参数或应用案例,冠亚恒温或联系客服获取详细资料。气冷常高温Chuck-探针台三温卡盘冷却机
