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| 品牌 | 冠亚恒温 | 冷却方式 | 水冷式 |
|---|---|---|---|
| 价格区间 | 10万-50万 | 产地类别 | 国产 |
| 仪器种类 | 一体式 | 应用领域 | 化工,电子/电池,航空航天,汽车及零部件,电气 |
| 卡盘定制系统 | |||||||
| 卡盘类型 | GY-CP-8HCV | GY-CP-12HCV | GY-CP-SQ3434HCV | ||||
| 配套Chiller | GY-PCH-803 GY-PCH-803W | GY-PCH-805 GY-PCH-805W | GY-PCH-803 GY-PCH-803W | GY-PCH-805 GY-PCH-805W | GY-PCH-8010 GY-PCH-8010W | GY-PCH-8010 GY-PCH-8010W | |
| 温度范围 | -45℃-200℃ | -55℃-200℃ | -45℃-200℃ | -55℃-200℃ | -65℃-200℃ | -65℃-200℃ | |
| Chiller电源 | 380 VAC ± 10%，三相(可定制) | ||||||
| Chiller总功率 | 8.5kW | 12.5kW | 8.5kW | 12.5kW | 27.5kW | 27.5kW | |
| 配套控温模组 | DX-CHUCK-3 | ||||||
| 温度均匀性 | 土0.5℃ | ||||||
| Chuck加热能力 | 1.5KW@DC48V | 2.5KW@DC120V | 3KW@DC48V | ||||
| Chuck表面处理 | 镀镍/镀金 | ||||||
| 控温方式 | 内置多个温度传感器，多区控温，精确PID调节控温 | ||||||
| 如有其他需求，可非标定制 | |||||||
空气制冷卡盘系统是一种以压缩空气为制冷介质的精密温控设备，主要用于半导体、电子等行业的晶圆或器件测试环节，实现对被测工件的稳定夹持与准确温度控制。无锡冠亚恒温作为专业工业温控设备厂家，其GY-CP系列空气制冷卡盘系统采用纯空气制冷技术，不使用液体冷媒或帕尔贴元件，具备高可靠性与稳定性。
系统通过专用冷却机对压缩空气进行温度调节，经密闭通道输送至卡盘内部，实现对卡盘平板的均匀冷却与加热。配合分布式温度传感器与PID+PLC复合控制算法，可准确控制温度波动在±0.5℃以内，满足精密测试需求。空气制冷卡盘系统-探针台chiller
· 纯空气制冷，无液体泄漏风险，维护简便
· 温度范围覆盖-65℃至+200℃，支持定制化温度区间
· 适配8英寸、12英寸等多种晶圆尺寸，提供非标定制
· 低噪音运行，适合低噪音测试环境需求
广泛应用于半导体晶圆变温电学测试、功率器件建模、可靠性评估、射频变温测试等领域，为晶圆级测试提供稳定可靠的温控平台。无锡冠亚恒温凭借多年工业温控经验，可为客户提供从设备选型到售后维护的全流程服务，助力提升测试效率与数据准确性。空气制冷卡盘系统-探针台chiller
