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| 品牌 | 冠亚恒温 | 冷却方式 | 水冷式 |
|---|---|---|---|
| 价格区间 | 10万-50万 | 产地类别 | 国产 |
| 仪器种类 | 一体式 | 应用领域 | 化工,电子/电池,航空航天,汽车及零部件,电气 |
| 卡盘定制系统 | |||||||
| 卡盘类型 | GY-CP-8HCV | GY-CP-12HCV | GY-CP-SQ3434HCV | ||||
| 配套Chiller | GY-PCH-803 GY-PCH-803W | GY-PCH-805 GY-PCH-805W | GY-PCH-803 GY-PCH-803W | GY-PCH-805 GY-PCH-805W | GY-PCH-8010 GY-PCH-8010W | GY-PCH-8010 GY-PCH-8010W | |
| 温度范围 | -45℃-200℃ | -55℃-200℃ | -45℃-200℃ | -55℃-200℃ | -65℃-200℃ | -65℃-200℃ | |
| Chiller电源 | 380 VAC ± 10%，三相(可定制) | ||||||
| Chiller总功率 | 8.5kW | 12.5kW | 8.5kW | 12.5kW | 27.5kW | 27.5kW | |
| 配套控温模组 | DX-CHUCK-3 | ||||||
| 温度均匀性 | 土0.5℃ | ||||||
| Chuck加热能力 | 1.5KW@DC48V | 2.5KW@DC120V | 3KW@DC48V | ||||
| Chuck表面处理 | 镀镍/镀金 | ||||||
| 控温方式 | 内置多个温度传感器，多区控温，精确PID调节控温 | ||||||
| 如有其他需求，可非标定制 | |||||||
高功率温度卡盘系统是半导体测试与微电子工艺领域的精密温控承载设备，功能为晶圆/芯片提供稳定夹持与准确温度控制，同时具备高功率散热能力，适配高功耗器件测试与高发热工艺场景。该系统由温控卡盘、精密液冷单元、电气控制模块及辅助组件构成闭环温控系统，是半导体功率器件测试、车规级芯片可靠性评估的关键装备。
无锡冠亚恒温高功率温度卡盘系统采用主动热控技术，通过内置分区换热通道与多传感协同监测，实现宽温域准确调控。系统可在-60℃至+200℃范围内稳定运行，支持8/12英寸晶圆规格，能在高功率工况下维持±0.5℃以内的温度均匀性，满足高功耗芯片测试的散热需求。模块化设计便于维护升级，适配不同测试平台与工艺需求。高功率温度卡盘系统-探针台冷却机chiller
1. 半导体测试：功率器件建模、晶圆级可靠性测试、射频变温测试，适配嵌入式处理器、DRAM、NAND等产品测试
2. 车规级验证：芯片老化测试、温度环境模拟
3. 特殊工艺：高发热芯片封装测试、功率模块热性能评估，解决局部热点散热难题
无锡冠亚恒温专注工业温控领域多年，高功率温度卡盘系统具备以下特点：支持定制化分区控温方案，适配不同芯片热分布需求；液冷单元与卡盘准确匹配，提升散热效率；匹配售后技术支持，保障设备稳定运行。该系统已广泛应用于半导体、新能源、汽车电子等行业，为客户提供可靠的温控解决方案。高功率温度卡盘系统-探针台冷却机chiller
