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| 品牌 | 冠亚恒温 | 冷却方式 | 水冷式 |
|---|---|---|---|
| 价格区间 | 10万-50万 | 产地类别 | 国产 |
| 仪器种类 | 一体式 | 应用领域 | 化工,电子/电池,航空航天,汽车及零部件,电气 |
| 卡盘定制系统 | |||||||
| 卡盘类型 | GY-CP-8HCV | GY-CP-12HCV | GY-CP-SQ3434HCV | ||||
| 配套Chiller | GY-PCH-803 GY-PCH-803W | GY-PCH-805 GY-PCH-805W | GY-PCH-803 GY-PCH-803W | GY-PCH-805 GY-PCH-805W | GY-PCH-8010 GY-PCH-8010W | GY-PCH-8010 GY-PCH-8010W | |
| 温度范围 | -45℃-200℃ | -55℃-200℃ | -45℃-200℃ | -55℃-200℃ | -65℃-200℃ | -65℃-200℃ | |
| Chiller电源 | 380 VAC ± 10%，三相(可定制) | ||||||
| Chiller总功率 | 8.5kW | 12.5kW | 8.5kW | 12.5kW | 27.5kW | 27.5kW | |
| 配套控温模组 | DX-CHUCK-3 | ||||||
| 温度均匀性 | 土0.5℃ | ||||||
| Chuck加热能力 | 1.5KW@DC48V | 2.5KW@DC120V | 3KW@DC48V | ||||
| Chuck表面处理 | 镀镍/镀金 | ||||||
| 控温方式 | 内置多个温度传感器，多区控温，精确PID调节控温 | ||||||
| 如有其他需求，可非标定制 | |||||||
三温卡盘chiller是半导体制造与测试领域的高精度温控设备，由无锡冠亚恒温研发生产，专为晶圆三温测试、光刻、刻蚀等工艺设计，通过三温区独立控温与闭环制冷循环，实现晶圆表面差异化温度准确调控，为芯片制造提供稳定温度环境。
该设备由精密液冷机（chiller）、三温卡盘（chuck）、干燥单元及控制柜组成完整闭环系统。chiller基于压缩式制冷循环，通过制冷剂相变实现热量转移；三温卡盘采用分区温控设计，三个温区独立配置加热与制冷模块，搭配高精度PT100铂电阻实时采集温度数据，经自适应PID+模糊控制算法动态调节，确保各温区准确达设定值。
1. 三温区独立调控：支持不同温区差异化温度设置，适配晶圆多区域工艺需求
2. 高精度控温：控温精度可达±0.5℃，温场均匀性优异，减少温度漂移影响
3. 全密闭循环：采用磁力驱动泵，无泄漏风险，内置过滤干燥系统保障介质洁净
广泛应用于半导体晶圆制造、集成电路测试、先进封装等领域，尤其适用于芯片测试（FT）中的三温测试环节，以及光刻胶涂布、CMP抛光等对温度敏感的工艺，帮助提升芯片良品率与测试数据准确性。三温卡盘chiller-探针台高低温控温系统
无锡冠亚恒温专注工业温控设备研发生产，三温卡盘chiller可根据客户工艺需求定制，提供从方案设计到售后维护的全流程服务，助力半导体企业提升生产效率与产品质量。三温卡盘chiller-探针台高低温控温系统
