快速温变控温卡盘Chuck是半导体测试与精密制造领域的温控设备,无锡冠亚恒温作为专业厂家,提供的产品集晶圆固定与快速温度控制于一体,适用于8/12英寸晶圆及各类芯片的变温测试场景。

该设备通过真空吸附或静电吸附技术牢固固定工件,内置高精度加热/制冷单元与多区温度传感器,配合闭环PID控制技术,实现从低温到高温的连续准确控温。无需液氮等耗材,自带冷热控制单元,避免气体消耗,降低使用成本。
· 温度范围:-65℃~+200℃
· 控温精度:温度均匀性达±0.5℃,杜绝温度漂移
· 适配性:支持直冷、液冷、气冷多种方式,表面可选镀镍/镀金处理
广泛应用于RF器件测试、高密度功率器件测试、车规级芯片老化测试、AI芯片晶圆测试及实验室平板快速冷却等场景,帮助用户评估芯片在不同温度条件下的性能与稳定性。
提供非标定制服务,支持方形冷板等特殊规格,配备PLC控制器与7寸显示界面,可实时记录温度数据,为半导体、新能源、制药化工等行业提供稳定可靠的温控解决方案。